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TH510 系列半导体 C-V 特性分析仪是常州同惠电子根据当前半导体功率器件发展趋势，针对半导体材料及功率器件设计的分析仪器。仪器采用了一体化集成设计，二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体功率器件寄生电容、CV特性可一键测试，无需频繁切换接线及设置参数，单管功率器件及模组功率器件均可一键快速测试，适用于生产线快速测试、自动化集成。CV曲线扫描分析能力亦能满足实验室对半导体材料及功率器件的研发及分析。仪器设计频率为 1kHz-2MHz，VGS电压可达±40V，VDS电压可达±200V/±1500V/±3000V，可满足大多数功率器件测试。

A.一体化测试，集成度高、体积小、效率高

一台仪器内置了LCR数字电桥、VGS电压源、VDS电压源、高低压切换矩阵以及上位机软件，将复杂的接线、繁琐的操作集成在支持电容式触摸的Linux系统内，操作更简单。特别适合产线快速化、自动化测试。

B.单管器件测试，10.1寸大屏，四种寄生参数同屏显示，让细节一览无遗

MOSFET或IGBT最重要的四个寄生参数：Ciss、Coss、Crss、Rg，Cies、Coes、Cres、Rg均可一键测试，10.1寸大屏可同时将测量结果、等效电路图、分选结果等重要参数同时显示，一目了然。

一键测试单管器件器件时，无需频繁切换测试脚位、测量参数、测量结果，大大提高了测试效率。

C.列表测试，多个、多芯、模组器件测量参数同屏显示

TH510系列半导体C-V特性分析仪支持最多6个单管器件、6芯器件或6模组器件测试，所有测量参数通过列表扫描模式同时显示测试结果及判断结果。

应用

■ 半导体元件/功率元件

二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光

电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析

■ 半导体材料

晶圆切割、C-V特性分析

■ 液晶材料

弹性常数分析

■电容元件

电容器C-V特性测试及分析，电容式传感器测试分析

TH510系列半导体C-V特性分析仪产品特点:

· 标配2通道，可扩展至6通道，可测单管、多芯或模组器件（TH513仅1通道）

· CV曲线扫描、Ciss-Rg曲线扫描

· 电容快速充电技术，实现快速测试

TH510系列半导体C-V特性分析仪选型技术参数：

• ➤ TH510.pdf