我们知道，从实验室一直到晶圆厂，吉时利不断向半导体市场推出新一代半导体测试仪。提供业内经济的全自动晶体参数测试仪，更高测试吞吐量的参数分析仪，缩短产品研发周期，能够测试更多的功率器件类型，并提供全面的半导体器件测试和分析软件。

下面介绍半导体检定系统的主要指标：

一，参数测试系统

半导体参数测试系统是针对半导体工艺控制，可靠性监测和器件特性测量中常用的DC和C-V测量而设计的，广泛用于实验室级器件开发，到量产的各种测试环境。

二，特性测量软件

特性测量软件自动对器件级，单片晶圆以及整批晶圆进行半导体器件特性测量，在与源测量单元或集成测试系统结合使用时，可以填补实验室级测试与量产级测试间不同需求空白。

三，参数分析仪

参数分析仪涵盖了各种参数测试需求，从基本的DC I-V和C-V扫描到高级超快速I-V、瞬态信号和波形捕获。

四，曲线追踪仪

为功率器件特性测量提供完整的解决方案，配备各种高性能仪器，电缆，测试夹具和软件。

Keithley 4200A-SCS ：参数分析仪，适用于材料、工艺和半导体器件特性表征的全面综合解决方案。

测试典型器件：与CMOS有关的器件和材料，非易失性存储器，MEMS，III-V器件，TFTs，太阳能电池，纳米器件、结构

应用：半导体器件特性测量，材料研究，器件可靠性和故障分析

测量功能：I-V ,C-V,超快速I-V脉冲

Keithley 2600-PCT参数波形记录仪：参数曲线追踪仪，不同配置对应不同功率器件测试需求

测试典型器件：半导体元器件，包括IGBTs，MOSFETs，BJTs，二极管，其他功率控制器件

应用：半导体元器件特性测量，监测和故障分析

测量功能：低功率I-V，高功率I-V和C-V

Keithley S530/540参数化测试系统,自动化参数测试系统，可以测试最高3KV的电压

测试典型器件：SIC，GaN及其他高压半导体器件和结构

应用：自动分析，工艺集成，工艺控制监测，生产芯片分拣

测量功能：I-V和C-V频率和脉冲，最高3KV，2端和3端电容测量

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深圳市赛仪欧电子有限公司，专业提供更多电子产品仪器设备和行业测试方案。